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產(chǎn)品中心系統(tǒng)爐PECVD系統(tǒng)爐
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滑動PECVD系統(tǒng)爐的低溫高效的特點使其在光伏、半導(dǎo)體、柔性電子等領(lǐng)域不可替代，與傳統(tǒng)CVD相比，PECVD的顯著優(yōu)勢是可在??較低溫度??下完成高質(zhì)量薄膜沉積，適用于不耐高溫的基材。
更新時間：2025-12-22
產(chǎn)品型號：OYS-1200C-II-60-PECVD
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