●爐體結構：PECVD系統(tǒng)爐采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度；爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，減少能量損失；內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高反射率及設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命，帶有過熱和斷偶保護，開門斷電，提高實驗安全性；爐子的底部安裝有一對滑軌，可使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。

●控溫系統(tǒng)：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；控溫精度±1℃；默認DB9 PC通信連接端口；可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數據。

　　◎氣瓶配備氣體減壓閥1套。

●標準配件：石英管 ≥1 支，莫來石管堵 ≥1 對，不銹鋼法蘭 ≥1 套，硅膠密封圈 ≥2 套，高溫手套 ≥1 副，爐鉤 ≥1 支。

●滑動PECVD系統(tǒng)爐認證標準及核心零部件：整機核心部件均符合CE、UL、MET等認證標準；核心零部件有ABB電器元件，UL認證電線、電纜，歐米茄，宇電、歐陸儀表等。