產(chǎn)品型號

翻蓋爐  OYS-1200C-S-VT（φ25、φ50）

PECVD系統(tǒng)射頻電源系統(tǒng)+OYS-1200C-II+供氣系統(tǒng)+真空泵

主要產(chǎn)品參數(shù)

電源：220V  50/60Hz

額定功率：1.3 KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）

連續(xù)工作溫度：1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度：200mm  

熱電偶：K型

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 3.1KW

最高工作溫度： 1200℃（＜0.5 hour）

連續(xù)工作溫度： 1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度： 400mm；

GYS-4Z :

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 23W合肥微元素設(shè)備有限公司

流量計范圍： 1-100SCCM；1-200SCCM；1-200SCCM；1-500SCCM

有一機械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門 :內(nèi)部連接管道為 ?6.35

真空泵系統(tǒng):

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 0.55KW

啟動方式： 一鍵啟動

機械泵

型號： TRP-12；

抽速： 3L/S，50HZ; 7.2L/S，60HZ。

關(guān)氣鎮(zhèn)：分壓 4X10-2Pa；全壓 4X10-1Pa;

氣鎮(zhèn)：分壓 1.3Pa；全壓 4Pa;

容油量： 1.1L；

進氣口徑： KF25; 出氣口徑： KF25;

轉(zhuǎn)速： 50HZ-1450rpm；60HZ-1750rpm;

噪音（關(guān)氣鎮(zhèn)）： 50dB;

重量：約 23-27kg;

主要特點

爐體結(jié)構(gòu)：

主要結(jié)構(gòu)為桌面立式爐；爐膛采用一體成型對開氧化鋁纖維制作

配有一對不銹鋼密封法蘭，采用硅膠密封圈密封；石英管口徑可選:φ25或φ50；真空度:10-2torr(采用機械泵)安裝有一機械壓力表，測量范圍為-0.1~0.15MP

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；

爐膛安裝好后， 內(nèi)部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設(shè)備的加熱效率同時也延

長了儀器的使用壽命；

爐子的底部安裝有一對滑軌， 可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)， 以實現(xiàn)快速加熱和快

速冷卻。

爐體可滑軌動位移： 600mm；

GYS-4Z:

適用于低壓小流量， 多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用， 而

不會造成大氣進入加熱管

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸

真空泵系統(tǒng):

極限真空度高，抽氣速度快；

一體化的設(shè)計，更加整潔、環(huán)保;

完善的內(nèi)置止逆閥系統(tǒng)，在停泵時防止真空油及油蒸汽逆流到真空系統(tǒng)中；

進氣口和出氣口采用國際標(biāo)準(zhǔn) ISO 法蘭；

低噪音與振動；

恒定壓力油循環(huán)系統(tǒng)；

簡捷的氣鎮(zhèn)閥控制；

采用獨特的油引出風(fēng)冷方式，冷卻效果明顯.

真空泵系統(tǒng)外觀 610mmX610mmX610mm，滑輪地腳可移動， 配不銹鋼波紋管， 手動真空擋板

閥可選配件。

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

尺寸

石英管口徑可選:φ25*600mm或φ50*600mm

馬弗爐：1275×405×545 mm

GYS-4Z：外長 610mm*寬 610mm*高 710mm

真空泵系統(tǒng)外觀 610mmX610mmX610mm

溫控系統(tǒng)

控溫系統(tǒng)：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；

控溫精度：±1℃

包含一款 YD858 型溫度控制器；

PID 控制和自整定調(diào)節(jié)；

智能化 30 段可編程控制；

控溫精度：±1℃;

默認 DB9 PC 通信連接端口；

可選購電腦溫度控制軟件（用于 YD858 系列控制器）用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；

認證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

核心零部件有ABB、OMEGA、東明等；

采用ABB電器元件，UL認證材料，出口歐盟的質(zhì)量認證標(biāo)準(zhǔn)；

售后質(zhì)保

質(zhì)保期一年，終身維護；24小時在線服務(wù)

耗材部分如加熱元件、石英管、剛玉管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)；

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)；