產(chǎn)品型號

箱式爐  KYS-1200C-S

管式爐  GYS-1200C-S（φ50）

OYS-1200C

翻蓋爐  OYS-1200C-Ⅱ（φ25、φ50、φ6

可傾斜式旋轉(zhuǎn)管式爐OYS-1200C

管式爐  GYS-1500C-S（φ60，φ50）

管式爐  GYS-1700C-S（φ50、φ60）

PECVD系統(tǒng)射頻電源系統(tǒng)+OYS-1200C-II+供氣系統(tǒng)+真空泵

主要產(chǎn)品參數(shù)

電源：220V  50/60Hz

額定功率：1.3 KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）

連續(xù)工作溫度：1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)：W100mm*H100mm*D130mm；加熱區(qū)空間：1.3L

熱電偶：K型

電源：220V 50/60HZ

額定功率：1.3 KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5h）

連續(xù)工作溫度：1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度：330mm

電源：220V 50/60HZ

額定功率：3.1KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5 hour）

連續(xù)工作溫度：1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度：440mm；（誤差±1℃）

電源：220V  50/60Hz

額定功率：3.1 KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5 h）

連續(xù)工作溫度：≤1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度：400mm（兩個溫區(qū)段都為200mm）

熱電偶：K型

外形尺寸：1275mm*405mm*545mm

電源：220V 50/60HZ

額定功率：2.5KW

最高工作溫度：1200℃（＜0.5 hour）

連續(xù)工作溫度：1100 ℃以下

推薦升溫速率：≤20℃/min

加熱區(qū)長度：440mm；恒溫區(qū)：220mm（誤差±1℃）

電源：220V 50/60HZ

額定功率：2.6 KW

最高工作溫度：1500℃（＜0.5h）

連續(xù)工作溫度：≤1400 ℃

推薦升溫速率：1400℃以下≤10℃/min；1400℃以上≤5℃/min

加熱區(qū)長度：170mm；

電源：AC220V  50/60HZ

額定功率：2.6 KW

最高工作溫度：1700℃（＜0.5h）

連續(xù)工作溫度：≤1600 ℃

推薦升溫速率：1400℃以下：≤10℃/min ;1400℃-1600℃：≤5℃/min

加熱區(qū)長度：170mm；

熱電偶：B型

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 3.1KW

最高工作溫度： 1200℃（＜0.5 hour）

連續(xù)工作溫度： 1100 ℃

推薦升溫速率：≤10℃/min

加熱區(qū)長度： 400mm；

GYS-4Z :

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 23W合肥微元素設(shè)備有限公司

流量計范圍： 1-100SCCM；1-200SCCM；1-200SCCM；1-500SCCM

有一機(jī)械壓力表安裝在前面板上，與混氣管相連接

壓力表量程:-0.1~0.15MPa

混氣罐尺寸: φ80*120mm

氣口/閥門 :內(nèi)部連接管道為 ?6.35

真空泵系統(tǒng):

電源： 220V 50/60HZ

額定功率： 0.55KW

啟動方式： 一鍵啟動

機(jī)械泵

型號： TRP-12；

抽速： 3L/S，50HZ; 7.2L/S，60HZ。

關(guān)氣鎮(zhèn)：分壓 4X10-2Pa；全壓 4X10-1Pa;

氣鎮(zhèn)：分壓 1.3Pa；全壓 4Pa;

容油量： 1.1L；

進(jìn)氣口徑： KF25; 出氣口徑： KF25;

轉(zhuǎn)速： 50HZ-1450rpm；60HZ-1750rpm;

噪音（關(guān)氣鎮(zhèn)）： 50dB;

重量：約 23-27kg;

加熱元件

鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb

硅碳棒

硅鉬棒

鐵鉻鋁合金絲 0Cr21Al6Nb

溫控系統(tǒng)

控溫系統(tǒng)：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度：±1℃

控溫方式：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；

控溫精度：±1℃

包含一款YD858型溫度控制器；

PID控制和自整定調(diào)節(jié)；

智能化30段可編程控制；

控溫精度：±1℃；

默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；

可選購電腦溫度控制軟件（用于YD858系列控制器）用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；

兩個溫區(qū)分別有兩個獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制；包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；控溫精度±1℃；默認(rèn)DB9PC通信連接端口；可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

包含一款YD858型溫度控制器；

PID控制和自整定調(diào)節(jié)；

智能化30段可編程控制；

控溫精度：±1℃；

默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；

可選購電腦溫度控制軟件（用于YD858系列控制器）用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；

包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能；

控溫精度：±1℃

控溫方式：包含一款YD858型溫度控制器；PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化50段可編程控制，默認(rèn)DB9 PC通信連接端口；控溫精度：±1℃

包含一款 YD858 型溫度控制器；

PID 控制和自整定調(diào)節(jié)；

智能化 30 段可編程控制；

控溫精度：±1℃;

默認(rèn) DB9 PC 通信連接端口；

可選購電腦溫度控制軟件（用于 YD858 系列控制器）用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)；

主要特點(diǎn)

體積小、重量輕、節(jié)能，可置于手套箱和通風(fēng)柜內(nèi)操作；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能很大程度減少能量損失；

爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和使用壽命；

側(cè)開式爐門結(jié)構(gòu)，方便放樣取品；

爐膛帶有通氣口，可在惰性氣氛下使用。

爐體特點(diǎn)：采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；

爐膛安裝好后，內(nèi)部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設(shè)備的加熱效率同時也延長了儀器的使用壽命；

標(biāo)配一對不銹鋼密真空法蘭和高溫硅膠密封圈；

選配：為了更快的獲得較高的真空度，建議使用KF25的不銹鋼法蘭、不銹鋼波紋管和數(shù)字式真空顯示計；

為了得到較好的真空狀態(tài)出氣端法蘭上可以選擇KF25的轉(zhuǎn)接頭與波紋管相連接；多種接頭可選

采用雙旋片式機(jī)械真空泵真空度可以達(dá)到10-2torr；如您想獲得更高的真空度（＜10-5torr or better）可選國產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組；

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；

爐膛安裝好后，內(nèi)部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設(shè)備的加熱效率同時也延長了儀器的使用壽命；

爐體加旋轉(zhuǎn)裝置，可實(shí)現(xiàn)傾斜旋轉(zhuǎn)工作；傾斜角度0-40度可調(diào)，建議傾斜角度小于30.

0-100rpm轉(zhuǎn)速可調(diào)，選配：正反轉(zhuǎn)可調(diào)

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；

爐體特點(diǎn)：采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失

采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)；

爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，能減少能量損失；

爐膛安裝好后， 內(nèi)部也會重新涂有高純氧化鋁涂層提高反射率及設(shè)備的加熱效率同時也延

長了儀器的使用壽命；

爐子的底部安裝有一對滑軌， 可使?fàn)t子從爐管的一側(cè)滑動到另一側(cè)， 以實(shí)現(xiàn)快速加熱和快

速冷卻。

爐體可滑軌動位移： 600mm；

GYS-4Z:

適用于低壓小流量， 多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多重氣體的切換使用， 而

不會造成大氣進(jìn)入加熱管

氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便

采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準(zhǔn)確，方便操作

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸

真空泵系統(tǒng):

極限真空度高，抽氣速度快；

 一體化的設(shè)計，更加整潔、環(huán)保;

 完善的內(nèi)置止逆閥系統(tǒng)，在停泵時防止真空油及油蒸汽逆流到真空系統(tǒng)中；

進(jìn)氣口和出氣口采用國際標(biāo)準(zhǔn) ISO 法蘭；

低噪音與振動；

恒定壓力油循環(huán)系統(tǒng)；

簡捷的氣鎮(zhèn)閥控制；

采用獨(dú)特的油引出風(fēng)冷方式，冷卻效果明顯.

真空泵系統(tǒng)外觀 610mmX610mmX610mm，滑輪地腳可移動， 配不銹鋼波紋管， 手動真空擋板

閥可選配件。

外形尺寸

W270mm*H430mm *D340mm

長405mmX寬335mmX高605mm（不含爐管法蘭）

1010×380×540 mm

1275mm*405mm*545mm

1300 mm X770 mm X1200 mm

850mm*420mm*670mm

850mm*420mm*670mm

馬弗爐：1275×405×545 mm

GYS-4Z：外長 610mm*寬 610mm*高 710mm

真空泵系統(tǒng)外觀 610mmX610mmX610mm

重量

約15KG

約18Kg

約41KG

約56KG

約55KG

約55KG

約99KG（41+35+23）

認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)及核心零部件

CE、UL等認(rèn)證，核心零部件有ABB、歐米茄、東明等采用ABB電器元件；

售后

質(zhì)保期一年，終身維護(hù)；24小時在線服務(wù)