GYS-2Z/3Z/4Z質(zhì)子供氣系統(tǒng)是一款低成本的流量計(jì)控制系統(tǒng)，其質(zhì)量流量計(jì)和不銹鋼混氣罐都安裝在一個(gè)移動(dòng)柜里，移動(dòng)柜最大可以承重1000Lbs，與本公司大多數(shù)管式爐配套使用時(shí)，可將管式爐置于移動(dòng)柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設(shè)定和狀本示都集中在一個(gè)7寸的LCD觸摸屏上，便于操控的同時(shí)，可實(shí)時(shí)查看氣體流量曲線和數(shù)據(jù)。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料接種CVD實(shí)驗(yàn)和各種材料的退火實(shí)驗(yàn)。

質(zhì)子供氣系統(tǒng)基礎(chǔ)參數(shù)

●浮子流量計(jì)量程：10-100mL/min 、16-160mL/min、25-250mL/min；

●精度：4%；

●壓力表量程：-0.1-0.15MPa；

●通氣管道：φ6.35mm的聚四氟管；

●選配：浮子流量計(jì)量程可選配，5-50mL/min、50-500mL/min、0.1-1mL/min等可定制；

●適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)；

●尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進(jìn)入加熱管；

●氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實(shí)用，操作簡便；

●顯示流量準(zhǔn)確，可有效控制氣體的消耗量；

●設(shè)備底部有滾動(dòng)輪，方便移動(dòng)使用方便，無需通電；

●內(nèi)置一個(gè)不銹鋼混氣罐，可更好的混合氣體；

●混氣罐尺寸：直徑76*長154mm；

●背面的進(jìn)氣與出氣口均為φ6.35的卡套接頭，進(jìn)氣口通過四氟管連接氣瓶，出氣口通過四氟管連接到設(shè)備的進(jìn)氣口；

●兩個(gè)通道氣體進(jìn)入混氣罐混氣，一個(gè)氣體通道獨(dú)立；

●前面板的四個(gè)不銹鋼針閥控制氣體的進(jìn)出，獨(dú)立通道的進(jìn)出氣不受針閥控制；

●外形尺寸：長610mm*寬610mm*高710mm；

●重量：約45Kg。