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更新時(shí)間:2026-03-06
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自動(dòng)化CVD系統(tǒng):集成聯(lián)動(dòng),助力化學(xué)氣相沉積研究
一、系統(tǒng)概述
本系統(tǒng)為一款集成化CVD設(shè)備,熱處理溫度可達(dá)1200℃(連續(xù)使用溫度1100℃),適用于多種材料的沉積工藝研究。系統(tǒng)主要特點(diǎn)包括:
ü 三通道供氣:支持多種氣體組合(如需通入易燃易爆或腐蝕性氣體,請(qǐng)?zhí)崆皽贤ù_認(rèn))
ü 高真空度:極限真空度可達(dá)5×10?2 Pa(不帶負(fù)載)
ü 自動(dòng)化控制:觸摸屏操作,實(shí)現(xiàn)熱處理、混氣、真空模塊聯(lián)動(dòng)
二、 系統(tǒng)組成與技術(shù)參數(shù)
1. 熱處理系統(tǒng)
名稱(chēng) | 主要參數(shù) |
|---|---|
電源 | 220V 50/60Hz |
額定功率 | 1.6kW |
工作溫度 | 1200℃(<0.5h) |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
推薦升溫速率 | ≤10℃/min |
加熱區(qū)長(zhǎng)度 | 300mm |
熱電偶 | K型 |
加熱元件 | 鐵鉻鋁合金絲0Cr21Al6Nb |
爐體結(jié)構(gòu) | • 高溫立式爐,雙層殼體帶風(fēng)冷系統(tǒng) • 爐膛采用高純氧化鋁纖維,內(nèi)部涂覆高純氧化鋁涂層 • 內(nèi)置氧濃度分析探測(cè)儀,排查易燃易爆氣體安全隱患 |
爐管 | 高純石英管,尺寸:φ100×700mm |
法蘭系統(tǒng) | • 上端法蘭:三個(gè)φ6.35mm進(jìn)氣口 • 底座法蘭:電動(dòng)升降機(jī)構(gòu)、KF25真空接口(帶手動(dòng)真空擋板閥)、KF16數(shù)顯真空計(jì)接口、水冷循環(huán)系統(tǒng)接口 • 底座可固定載物臺(tái),用于放置樣品
|
2. 溫控系統(tǒng)
l 控制方式:7英寸觸控智能微電腦PID溫控儀表,聯(lián)動(dòng)控制集成
l 控制技術(shù):SSR控制,PID參數(shù)自整定,超溫報(bào)警
l 編程功能:可編程15組30個(gè)程序段,支持自動(dòng)升溫、保溫和停止
l 控制精度:±1℃
3. 三通道混氣系統(tǒng)
l 電源:AC208-240V 50/60Hz
l 流量范圍:0-500 SCCM(以氬氣、甲烷、二氧化碳為標(biāo)定氣體)(可選量程和氣體標(biāo)定)
l 控制精度:±1.5% FS
l 混氣模式:支持氬氣與甲烷、氬氣與二氧化碳進(jìn)入混氣罐,兩組氣體可切換使用
l 自動(dòng)控制:通過(guò)電磁閥實(shí)現(xiàn)進(jìn)氣與出氣量調(diào)節(jié)
4. 真空系統(tǒng)
l 真空泵型號(hào):VRD-8 (可選配)
l 抽速:2L/S
l 電源:AC220V 50/60Hz
l 極限真空度:5×10?2 Pa(不帶負(fù)載)
l 自動(dòng)控制:可增配自動(dòng)控制電氣配件
5. 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)與核心零部件
認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn):符合CE、UL等認(rèn)證要求核心零部件品牌:ABB、歐米茄、東明等
三、售后服務(wù)
① 質(zhì)保期:一年(耗材除外)
② 維護(hù)服務(wù):終身維護(hù),24小時(shí)在線(xiàn)技術(shù)支持
特別提示:加熱元件、爐管、坩堝等耗材不在質(zhì)保范圍內(nèi);因使用腐蝕性氣體造成的損害不予保修
四、使用注意事項(xiàng)
為確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行,請(qǐng)嚴(yán)格遵守以下要求:
? 氣壓限制:采用石英爐管時(shí),爐管內(nèi)氣壓不得高于0.02MPa
? 氣瓶配置:必須安裝減壓閥,建議選用量程為0.01-0.1MPa的減壓閥,以保證氣體通入精確性與安全性
? 加熱操作:如需關(guān)閉氣閥加熱,必須實(shí)時(shí)觀察壓力表示數(shù),若超過(guò)0.02MPa需立即打開(kāi)泄氣閥
? 流量控制:氣體流量建議控制在≤200 SCCM(即200ml/min)以?xún)?nèi)
五、適用場(chǎng)景
自動(dòng)化控制CVD系統(tǒng)適用于:
l 高校、科研院所的材料科學(xué)研究
l 企業(yè)實(shí)驗(yàn)室的薄膜制備與納米結(jié)構(gòu)生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)
l 需要高真空度和多氣體組合的化學(xué)氣相沉積工藝
l 其集成化設(shè)計(jì)與自動(dòng)化控制功能,有助于提升實(shí)驗(yàn)效率與數(shù)據(jù)重復(fù)性,是現(xiàn)代材料研究實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。
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